2026年8月31日-9月2日，第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC2026）在无锡太湖国际博览中心盛大启幕。东土科技携半导体国产化控制系统整体解决方案重磅参展，以全栈自研底层技术，解锁晶圆装备控制新路径，赋能“芯”质生产力。
芯片制程加速提升，对控制系统要求近乎苛刻：纳米级加工、微米级同步、微秒级控制周期。一旦控制系统精度有丝毫误差，就有可能影响工艺质量，导致晶圆批量报废，给工厂带来高额损失。
传统控制系统普遍采用IPC+PLC分立架构，机台同时搭载多个独立硬件，硬件堆砌多、控制柜占用空间大，控制系统与工艺软件之间无法实现1ms确定性数据交互，极大限制了先进制程的工艺实现。上位机还常会出现Windows系统蓝屏宕机、内存踩踏、程序卡停等问题，难以满足高端半导体设备的严苛使用要求。
依托鸿道Intewell工业实时操作系统与MaVIEW智能控制平台，东土科技打造实时-非实时硬件虚拟化混合架构，通俗来讲就是“一台控制器分两套独立运行环境”：一套专管设备运动、工艺执行类高实时要求的任务；另一套负责视觉识别、工艺应用、数据存储、人机交互等通用业务。
两套环境做到硬件级资源隔离，即使视觉、数据库、工艺APP这类上层程序崩溃造成死机，设备核心工艺控制依旧可以正常运转，从根源避免工艺执行失败和设备宕机。依靠共享内存高速通信机制，两套环境之间1毫秒即可完成10-60MByte的数据交换，最短循环计算周期可达50μs，充分满足刻蚀、清洗、固晶等机台设备对微秒级的响应要求。同时系统全栈国产自研，可为用户开放定制接口，方便设备厂商做工艺算法集成开发。
硬件层面，NewPre系列覆盖国产海光、X86、ARM多类芯片平台。单台控制器即可集成逻辑控制、运动控制、机器视觉、AI推理四大能力，无需IPC、PLC、独立视觉多套硬件搭配，机柜占用体积降低30%以上。融合I/O模块、伺服驱动器、伺服电机、AUTBUS工业总线以及TSN时间敏感网络，打通从底层系统、工业总线到上层智能应用的全栈自主链路。
搭载MaVIEW工业智能体，把工程师积累的半导体工艺经验转化为设备自带的“专家助手”：温控AI智能体大幅缩短设备调试周期；动态故障诊断智能体可提前捕捉腔室异常苗头，预警闪爆、参数漂移隐患，守护晶圆生产良率。
目前，东土国产控制方案已和国内头部半导体装备企业深度合作，完成数百台定制化设备量产交付，落地刻蚀、清洗、镀膜、固晶、量检测等多款核心工艺机台。
用自研操作系统打造装备的“中国脑”，用国产高速总线搭建设备的“神经网”，东土科技持续攻克半导体控制系统“卡脖子”关键难题。诚邀行业同仁莅临CSEAC2026东土展台，一起交流半导体装备国产化的创新实践。
（本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）
2026年8月31日-9月2日，第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC2026）在无锡太湖国际博览中心盛大启幕。东土科技携半导体国产化控制系统整体解决方案重磅参展，以全栈自研底层技术，解锁晶圆装备控制新路径，赋能“芯”质生产力。
芯片制程加速提升，对控制系统要求近乎苛刻：纳米级加工、微米级同步、微秒级控制周期。一旦控制系统精度有丝毫误差，就有可能影响工艺质量，导致晶圆批量报废，给工厂带来高额损失。
传统控制系统普遍采用IPC+PLC分立架构，机台同时搭载多个独立硬件，硬件堆砌多、控制柜占用空间大，控制系统与工艺软件之间无法实现1ms确定性数据交互，极大限制了先进制程的工艺实现。上位机还常会出现Windows系统蓝屏宕机、内存踩踏、程序卡停等问题，难以满足高端半导体设备的严苛使用要求。
依托鸿道Intewell工业实时操作系统与MaVIEW智能控制平台，东土科技打造实时-非实时硬件虚拟化混合架构，通俗来讲就是“一台控制器分两套独立运行环境”：一套专管设备运动、工艺执行类高实时要求的任务；另一套负责视觉识别、工艺应用、数据存储、人机交互等通用业务。
两套环境做到硬件级资源隔离，即使视觉、数据库、工艺APP这类上层程序崩溃造成死机，设备核心工艺控制依旧可以正常运转，从根源避免工艺执行失败和设备宕机。依靠共享内存高速通信机制，两套环境之间1毫秒即可完成10-60MByte的数据交换，最短循环计算周期可达50μs，充分满足刻蚀、清洗、固晶等机台设备对微秒级的响应要求。同时系统全栈国产自研，可为用户开放定制接口，方便设备厂商做工艺算法集成开发。
硬件层面，NewPre系列覆盖国产海光、X86、ARM多类芯片平台。单台控制器即可集成逻辑控制、运动控制、机器视觉、AI推理四大能力，无需IPC、PLC、独立视觉多套硬件搭配，机柜占用体积降低30%以上。融合I/O模块、伺服驱动器、伺服电机、AUTBUS工业总线以及TSN时间敏感网络，打通从底层系统、工业总线到上层智能应用的全栈自主链路。
搭载MaVIEW工业智能体，把工程师积累的半导体工艺经验转化为设备自带的“专家助手”：温控AI智能体大幅缩短设备调试周期；动态故障诊断智能体可提前捕捉腔室异常苗头，预警闪爆、参数漂移隐患，守护晶圆生产良率。
目前，东土国产控制方案已和国内头部半导体装备企业深度合作，完成数百台定制化设备量产交付，落地刻蚀、清洗、镀膜、固晶、量检测等多款核心工艺机台。
用自研操作系统打造装备的“中国脑”，用国产高速总线搭建设备的“神经网”，东土科技持续攻克半导体控制系统“卡脖子”关键难题。诚邀行业同仁莅临CSEAC2026东土展台，一起交流半导体装备国产化的创新实践。
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